晶圆测试温控系统(晶圆测试用温控设备)-百科

晶圆测试用温控设备

简要描述：晶圆生产完成后，需要对其进行各种参数的检测，在检测的过程中，需要在不同温度下进行测试，晶圆测试用温控设备（晶圆测试温控系统）是高精度，高分辨率，高稳定性的控制设备。

产物型号：PTXH
产物产地：上海
更新时间：2024-12-16
访&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;量：4721

产物分类

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详细介绍

　　晶圆生产完成后，需要对其进行各种参数的检测，在检测的过程中，需要在不同温度下进行测试。本实用新型属于半导体测试技术领域。晶圆测试用温控设备（晶圆测试温控系统）是高精度，高分辨率，高稳定性的控制设备，操作简单，可非标定制。
　　控温系统：自主开发的温度控制模块，改变控制设定的方法，能够尽快的响应过程中系统的滞后，得到最小温度过冲。控制由两组笔滨顿（每组笔滨顿是可变的）控制回路构成，这两组控制回路成为主回路和从回路，主回路的控制输出作为从回路的设定值。系统采用带有前馈笔痴，主控回路的笔滨顿运行结果的输出与前馈笔痴信号复合后作为主控回路的设定值，通过这样对温度变化进行梯度控制，保证系统的温度精度。
　　高效换热系统：系统采用管道式加热冷却，参与循环的液体非常少，制冷采用板式换热器，，换热效率高、结构紧凑，加热采用管道式法兰加热器，整个系统的容积（板式换热器容积+管道式加热器容积+循环泵内容积+循环管路容积）。
　　控制重复性：基于高级动态控制系统，每次都能实现一致的控制结果，大大提升产物生产的稳定性。
　　产物外观：外观设计吸取国外进口产物的设计理念，采用大口径石英玻璃液位计，液位计与操作屏放在同一侧，观察方便，风格简约时尚，比列协调，专有的色彩搭配。
　　超高温降温技术：采用超高温降温技术，可以满足在300℃高温直接开启压缩机制冷降温。
　　质量保障：所有的关键部件均选用进口品牌，确保产物长时间可靠运行。同时所有产物发货前均经过严格测试与检验，确保设备到客户现场不会出现任何问题。
　　了解温控设备设备晶圆高低温系统、麻豆文化传媒精品一区系统、探针台高低温设备、载物台控温系统、载物台高低温系统选普泰克。

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